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年7月至年7月，深圳大学机电与控制工程学院曹广忠教授、黄苏丹助理教授团队在国际电子电气工程领域顶级期刊IEEETransactionsonIndustrialElectronics就平面电机技术研究连续发表5篇系列研究论文，该期刊是中科院JCR工程技术大类一区TOP期刊，年影响因子为7.。曹广忠教授、黄苏丹助理教授分别为论文的通讯作者或第一作者，深圳大学均为第一完成单位。
平面电机是高端装备光刻机中核心精密工件台的关键技术，是我国集成电路芯片制造领域的卡脖子技术。平面电机分为微动平面电机和宏动平面电机，前者用于实现毫米级短行程、纳米级超高精度的二维运动，后者用于实现毫米级以上大行程、亚微米级高精度的二维运动。宏动平面电机要求具有结构简单、精度高、行程大、响应速度快、可靠性高等突出特点，是平面电机技术发展的主要方向。
团队近年致力于宏动平面电机技术研究，创立了平面电机的无位置传感器位置精准辨识、控制以及高精度轨迹跟踪运动的系统新理论与技术，为诸如高端半导体IC制造领域的核心精密工件台所需要的宏动平面驱动关键技术提供了新途径和解决方案，具有重要的理论价值和应用前景。
论文1
//标题：Anassistant-mover-basedpositionestimationmethodforplanarswitchedreluctancemotors
针对平面开关磁阻电机的强非线性磁链特性、难以动态测量内部磁感应强度和准确测量动子线圈电感和磁链问题，在国际上首次提出附加动子块的概念，创新性地提出了基于附加动子块的无位置传感器动子位置辨识与控制理论与方法，实现了全速范围的电机无位置传感器闭环伺服精确控制。
*原文链接