电磁驱动微扫描镜（EM-MSM）是一种矢量扫描设备，能使入射光按照特定的方式和时间来发生反射，从而实现扫描成像。
传统的光学扫描镜体积大、成本高且多为散装，相较于传统扫描镜，电磁驱动微扫描镜由于其可靠性高、小型化和重量轻等优点，得以在激光雷达、激光散斑抑制等领域应用。
MEMS微扫描镜根据驱动方式的不同，又可以分为静电驱动式、电热驱动式、电磁驱动式和压电驱动式等，这四种驱动方式的特点对比如下，电磁驱动微扫描镜具有大光学转角、高线性度等优点。
LBTEK电磁驱动微扫描镜采用在镜面背面放置4个线圈（对，水平和垂直方向），线圈距离磁铁具有一定距离。当其中一对线圈（水平方向）施加频率相同，相位相差90°的交流信号时，线圈产生的磁场的极性恰好相反且交替变化，线圈产生的磁场与磁铁间产生相互作用，产生方向相反的转矩。根据对称性，给垂直方向对应的线圈施加一定电流也会实现同样效果，从而达到二维扫描的目的。
LBTEK电磁驱动微扫描镜工作原理示意图
对慢轴和快轴分别施加不同的正弦信号，可得到不同的扫描图像。
电磁驱动微扫描镜产生的一维和二维Lissajous图形
LBTEK提供的电磁驱动微扫描镜有以下特点：
微扫描镜主体部分由反射镜、永久磁铁（汝铁硼磁铁）和绕闸线圈三部分组成，反射镜采用半导体加工工艺（光刻和刻蚀），在硅片基底上进行镀金，最终裂片得到。微扫描镜底部粘有永久磁铁，通过绕闸线圈的电磁感应现象，和永久磁铁间产生排斥力和吸引力，线圈产生的磁场的极性恰好相反且交替变化，产生方向相反的转矩。两组线圈所加的电流相互独立，实现二维扫描。
微扫描镜参数表
a同材质平片（陪镀片）的测试数据，8°入射角b品质因数Q=f0/△f，f0为共振频率，△f为带宽，△f为0.*f处对应的谐振频率带宽
提供电磁驱动微扫描镜套件，包含微扫描镜主体、外壳、驱动转接板。微扫描镜通过4个M×8螺丝呈45°安装于机械外壳内部，镜面中心与入射口的中心等高。机械外壳兼容30mm同轴系统，底部带M4螺纹孔，可与光学接杆连接。
微扫描镜内含永久磁铁，请勿将微扫描镜放置在磁性材料的物体表面，以免微扫描镜吸附损坏微扫描镜；
使用过程中请勿用力拉扯微扫描镜的FPC软排线，以免损坏内部金线的连接；
请注意微扫描镜的使用环境，禁止将具有磁性的细小颗粒放在在微扫描镜周围，如铁屑、针具等。