离子发生器，是用于产生各种离子的设备。
在实验室中广泛使用。
它包括有：电感线圈、高压电源和与之相连的电极等。
离子发生器的原理是将直流电通过阴极（或阳级）获得电子，
再经加速电场使电子撞击金属靶而产生离子束，并利用这些离子束来轰击样品而使之电离的过程。
工作原理：
电感线圈的匝数与电流大小成反比；当电压一定时，电流越大则线圈的电阻越小；
因此当电压一定时，电流增大时线圈中的电能就增加。
由于能量守恒定律的限制及电磁感应规律的作用下，在线圈中将形成交变的电场力（磁场）。
该交变电场力的作用方向与外加的电场方向相反且垂直于磁场的方向。
在一定的温度条件下（一般为°C左右），随着通电时间延长其内部将出现热效应即焦耳热效应，
同时伴随着体积膨胀，所以为了足够的散热条件对电路进行冷却；
另外一方面由于加热时间较长后产生的气体也会影响放电过程，所以对气体进行净化处理。